六氟丁二烯

化學(xué)式：C4F6

純度規(guī)格：4N

用途：刻蝕

主要應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路（LOGIC/DRAM/3D NAND）

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產(chǎn)品種類：

碳氟類氣體

產(chǎn)品標(biāo)簽：

電子特種氣體

產(chǎn)品詳情

六氟丁二烯主要應(yīng)用于大規(guī)模集成電路先進制程的刻蝕工藝，與傳統(tǒng)刻蝕氣體相比，六氟丁二烯刻蝕速率更快、選擇性和深寬比更高、環(huán)境更友好，在先進制程中應(yīng)用前景廣闊，公司生產(chǎn)的六氟丁二烯產(chǎn)品純度達4N，產(chǎn)品已進入客戶驗證階段。

以品質(zhì)為基石，開拓全球市場

目前，派瑞特氣公司擁有單條年產(chǎn)能超過3000噸的高純?nèi)獨怏w生產(chǎn)線，擁有高純六氟化鎢規(guī)?；a(chǎn)線，擁有三氟甲磺酸系列產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)基地，建設(shè)了高純鎢制品中試生產(chǎn)線，實現(xiàn)了企業(yè)大宗制氣的技術(shù)突破，已成為國內(nèi)特氣行業(yè)產(chǎn)品系列豐富、生產(chǎn)能力大、市場覆蓋面和占有率高、持續(xù)創(chuàng)新能力強的企業(yè)。

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推薦產(chǎn)品

公司主要從事電子特種氣體及三氟甲磺酸系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，主要產(chǎn)品包括高純?nèi)?、高純六氟化鎢、高純氯化氫、高純氟化氫、高純四氟化硅、高純氘氣、高純六氟丁二烯、高純八氟環(huán)丁烷、高純電子混合氣等電子特種氣體，以及三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、雙（三氟甲磺酰）亞胺鋰等含氟新材料。